光学镀膜机 NOC-4000光学镀膜系统 那诺-马斯特

NOC-4000光学镀膜系统概述：NANO-MASTER NOC-4000光学涂覆系统提供先进的技术，在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光，然后把样片传送到*二级腔体中对同一样片进行表面涂覆，整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用，同时具备各自的自动上/下载片功能。

NOC-4000光学镀膜系统应用：

光学涂层

溅射

离子束辅助沉积

离子束刻蚀清洗

离子束辅助反应刻蚀

红外涂层

表面处理

NOC-4000光学镀膜系统产品特点:

射频偏压样品台

膜厚监测仪

极限真空5x10-7Torr

高精度及高重复性

高品质膜层

原子级的洁净表面

原子级清洗和抛光

通过LabView软件实现PC计算机全自动控制

自动上下载片

两个腔体之间自动传送

菜单驱动，4级密码访问保护

完整的安全联锁

占地面积46”D x 44”W

NOC-4000光学镀膜系统选配项:

向下/向上溅射

共溅射

DC，RF以及脉冲电源

离子束辅助沉积

电子束源

等离子源